提拉法晶體生長爐 晶體提拉法/下降法裝備 碳化硅生長、硒化鋅晶體氣相生長
產(chǎn)品型號:SML
參考價格:-
產(chǎn)地:上海
發(fā)布時間:2025-4-21 10:44:41
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產(chǎn)品介紹:
應用領域:
1. 半導體行業(yè)
- 單晶硅生長:用于制造集成電路、太陽能電池等所需的單晶硅棒,純度可達99.9999%以上。
- 化合物半導體:如砷化鎵、磷化銦等,用于高頻通信器件和光電子元件。
2. 光學材料
- 藍寶石晶體(Al₂O₃):用于LED襯底、光學窗口、智能手機屏幕蓋板等。
- 釔鋁石榴石(YAG):制造激光晶體、閃爍晶體(如醫(yī)療CT探測器)。
3. 激光與非線性光學
- 鈦寶石晶體(Ti:Sapphire):超快激光器的核心材料。
- 鈮酸鋰(LiNbO₃):用于光調制器、聲表面波器件。
4. 科研與特種材料
- 高溫超導材料:如釔鋇銅氧(YBCO)單晶。
- 閃爍晶體:碘化銫(CsI)、鍺酸鉍(BGO)用于高能物理探測。
技術特點:
1. 核心生長工藝
- 熔體控制:通過高純度坩堝(如石英、銥金)熔融原料,避免污染。
- 籽晶引晶:使用定向籽晶誘導單晶生長,精準控制晶向(如硅的〈100〉或〈111〉方向)。
- 提拉與旋轉:
- 提拉速度:0.1~10 mm/h,影響晶體直徑和缺陷密度。
- 旋轉速率:5~30 RPM,確保熔體均勻性和界面穩(wěn)定性。
2. 加熱與溫控系統(tǒng)
- 加熱方式:
- 電阻加熱:石墨或鉬發(fā)熱體,適用于硅、藍寶石等(溫度范圍1400~2200°C)。
- 感應加熱:高頻線圈耦合金屬坩堝,適合高熔點材料(如鎢)。
- 溫度精度:±0.5°C以內,通過多區(qū)熱場設計減少徑向溫度梯度。
3. 環(huán)境控制
- 氣氛選擇:
- 惰性氣體(Ar、N₂):防止材料氧化(如硅生長需高純氬氣)。
- 真空環(huán)境:用于易揮發(fā)材料(如GaAs)以減少氣泡缺陷。
- 壓力調節(jié):動態(tài)控制爐內壓力,優(yōu)化晶體生長界面形態(tài)。
4. 自動化與監(jiān)測
- 直徑控制:激光/視覺傳感器實時監(jiān)測晶體直徑,反饋調節(jié)提拉速度。
- 智能工藝:預設多段生長曲線,自動調整溫度、轉速等參數(shù)。
- 缺陷檢測:集成X射線衍射(XRD)或紅外成像,實時分析晶體質量。
5. 設備結構設計
- 熱場優(yōu)化:多層隔熱屏(石墨、鉬)減少熱損失,提升能源效率。
- 冷卻系統(tǒng):水冷爐壁與氣體冷卻結合,快速降溫避免熱應力開裂。
- 耐腐蝕材料:坩堝和爐膛采用銥、鎢等高抗腐蝕材料,延長使用壽命。
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